摘要：隨著我國各行業的不斷發展，微電子技術與精密光學儀器制造也隨之進步，微電子技術大大推動了精密光學儀器技術的發展。隨著微電子技術的進一步發展,對光學儀器的測量技術、完位技術和信息處理技術也不斷提出了新的要求。一方面要求借助微電子元件來彌補精密機械中光學測量和定位原理,特別是信息處理等方面的不足。另一方面要求通過微電子技術使光學儀器的功能和性能參數產生變化,本文主要研究了微電子技術在精密光學儀器上的應用。

　　關鍵詞：微電子技術;精密機械;測控技術

　　一、微電子技術

　　微電子技術是建立在以集成電路為核心的各種半導體器件基礎上的高新電子技術，特點是體積小、重量輕、可靠性高、工作速度快，微電子技術對信息時代具有巨大的影響。微電子技術影響著一個國家的綜合國力，以及人們的工作方式、生活方式和思維方式，被看作是新技術革命的核心技術。微電子技術是計算機、現代通信、網絡等產業的發展的前提，是信息社會的積淀。因此，許多國家都把微電子技術作為重要的倡議技術加以高度重視，并投入大量的人力、財力和物力進行研究和開發。

　　微電子技術對電子產品的消費者市場也產生了深遠的影響。價廉、可靠、體積小、重量輕的微電子產品層出不窮。電子技術產品和微處理器不再是專門的科學儀器世界的貴族，而落戶于各式各樣的普及型產品之中，進入普通百姓家。例如電子玩具、游戲機、學習機以及其他家用電器產品等。就連汽車這種傳統的機械產品也滲透進了微電子技術，采用微電子技術的電子引擎監控系統、汽車安全防盜系統、出租車的計價器等已得到廣泛的應用，現代汽車上有時甚至要有十幾到幾十個微處理器。

　　二、微電子技術發展的影響

　　由于集成電路實現了材料、元件和電路的一體化及設計和工藝的一體化，大大簡化了傳統電子設備的制作工藝和成本，也使電子設備的小型化、高可靠性成為可能。在集成電路出現以來的40多年間，其集成度以每3年翻兩番的速度快速增加，從而推動了微電子技術的迅猛發展，對人類社會的生產、生活產生了極其深遠的影響。

　　首先，微電子技術的發展，特別是大規模和超大規模集成電路的出現，引起了計算機技術的革命性變革，促進了計算機在各行各業的應用，推動了新技術革命的迅猛發展，引起了人類社會的深刻變化。

　　微電子技術的發展，使集成電路可以低成本、高效率大批量生產。由于集成電路所具有的體積小、重要輕、可靠性高、能耗省等獨特優點，它已廣泛應用于國防、文化、教育、衛生、交通運輸、郵電通信、經濟管理和各種消費類電子產品中。目前，它對電子產品的滲透率接近100%，成為現代信息社會的細胞。微電子技術已經成為發展科學技術、促進經濟發展、推動信息化社會進程、加強軍事實力、提高醫療水平的關鍵性基礎技術。微電子技術的發展水平和發展規模已經成為衡量國家經濟實力和技術進步的重要尺度，是一個國家綜合國力的具體表現。

　　三、微電子技術在精密儀器上的應用

　　微電子機械系統主要結構有微型傳感器、制動器以及處理電路。其是一種微電子電路與微機械制動器結合的尺寸微型的裝置，其在電路信息的指示下可以進行機械操作，并且還能夠通過裝置中的傳感器來獲取外部的數據信息，將其進行轉化處理放大，進而通過制動器來實現各種機械操作。而微電子機械系統技術是以微電子機械系統的理論、材料、工藝為研究對象的技術。微電子系統并不只是單純的將傳統的機電產品微型化，其制作材料、工藝、原理、應用等各個方面都突破了傳統的技術限制，達到了一個微電子、微機械技術結合的全新高度。

　　集成電路IC實際上完成了芯片級的電子組裝，有著極高的互聯密度。將高集成鵲胨SI/VLSI/ULSI（大規模/超大規模/特大規模集成電路）和ASIC/FPGA/EPLD（專用IC/現場可編程門陣列/電可擦除可編程的邏輯器件）等組裝在一起實現集成電路的功能集成，這就是SMT（表面安裝技術）、HWSI（混合大圓片規模集成技術）和3D（三維組裝技術）。這些技術，推動著電子設備和產品繼續向薄輕短小發展，在片狀元件的小型化和自動安裝設備所能處理的元件尺寸已瀕臨極限的今天，起著關鍵的作用。進入90年代，代表性技術則輪到了MCM，人稱多芯片組裝時代，到2000年即下世紀初，將是WSI/HWSI/3D時代！WSI是將復雜的電子電路集成在一個大圓片上。將IC芯片，MCM和WSI進行三維迭裝的3D組裝突破了二維的限制，使組裝密度更上一層樓。

　　在科技領域中,微電子學占據著越來越重要的地位。在精密光學儀器制造上,也用到微電子技術。八十年代,許多光學儀器的測量、定位和信息處理都應用了微電子技術。大多數儀器采用微電子技術之后,不是使光、機、電分家,而是把微電子學與精密機械學和光學有機地結合起來,使儀器的性能和工作原理得到了新的發展。

　　參考文獻

　　[1]宣仲良主編.第1章信息技術概述大學計算機信息技術知識點分析與題解.蘇州大學出版社,2006.

　　[2]宗占國主編.第二章微電子技術與計算機技術現代科學技術導論.高等教育出版社,2008.12.

　　作者曹宸劉鵬彭向臻一

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